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在這個體系中，半導體製造，也就是一般所稱的晶圓加工（Wafer fabrication），是資金與. 技術最為密集之處，伴隨著晶圓加工的上游產業則包括產品設計（IC design）、晶 ... ... <看更多>
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隨著半導體製程技術已經進入到奈米世代，相對地對於污染微塵粒子 ... 第四章、實驗結果與討論：實驗資料分析及結果，包含實驗數據分析、最. ... <看更多>
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半導體 是指在矽元素中添加三價或五價元素所形成的元件，由於其導電具有 ... 製程技術的進步，每隔18 個月，IC 產出量就可以增加一倍，換算為成本，即每. ... <看更多>
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第6章研磨設備（Polish）篇為李美儀博士所撰寫。第5章黃光微影設備（Photolithography）篇為吳鴻佑先生所撰寫。第1章1.2節離子植入（Ion Implant） 為詹家瑋先生所撰寫。 ... <看更多>
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全書分為五篇，第一篇(1～3章)探討半導體材料之基本特性，從矽半導體晶體結構開始，到半導體物理之物理概念與能帶做完整的解說。第二篇(4～9章)說明積體 ... ... <看更多>