關於 四點探針片電阻 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. Pro-4四點探針電阻率測量系統 - 双程科技股份有限公司

Pro-4四點探針電阻率測量系統為薄片和體電阻率測量提供了簡單的答案四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用，測量各種襯底上的薄膜。

#12. 微電子65 奈米世代後銅薄膜阻抗係數之探討

3.3.2 四點探針(Four point probe ; FFP). 片電阻是傳導性材料之重要特性之一，尤其是導電薄膜。片電. 阻值會受到薄膜厚度、合金比例、晶粒尺寸與雜質濃度等因素影響，.

#13. 四點探針 - 財團法人自強工業科學基金會半導體研究室

四點針測(4-Point Probe). 廠牌：Magne-Tron. ○主要規格： ... 非學術單位：50元/點+400元開機費. 關鍵字：四點探針、片電阻、電阻、電阻係數.

#14. 四點探針 - 國立中興大學-光電半導體製程中心

四點探針. 英文名稱. four point probe tester. 儀器經費來源. 汪芳興. 購入日期. 2006-12-29 ... 可量薄膜的電阻係數及片電阻值. 2. 利用外側兩探針間加固定電流，並 ...

#15. 極片電阻測試方法探究-單探針&兩探針&四探針

單探針法的電子傳輸路徑經由塗層傳向塗層與集流體的界面，然後再傳向集流體，再經過橫向的集流體傳向測試電極的另一端，因此會比上下兩探針的方法多了一項 ...

#16. RK-1000H4W 應用型手持式四點探針 - 向特科技

RK-1000H4W 應用型手持式四點探針. 特點: » Made in Taiwan, 向特科技新一代獨家開發» 薄膜電阻(面電阻) (片電阻) 量測 » 使用方便, 安裝便利, 量測穩定» 提供換針服務 ...

#17. 銳隆科研市集桌上型四點探針直流低電阻測試儀

桌上型四點探針直流低電阻測試儀適合實驗室用於ITO導電玻璃、FTO導電玻璃、AZO導電玻璃、柔性ITO導電膜、片狀金屬等膜層均勻的剛性導體膜層和半導體膜層的方塊電阻、 ...

#18. 四點探針(4-point Probe) - 陽明交通大學奈米中心

重要規格:量測範圍從 1mili-ohm/square 到 5 x 10 8 ohm/square (sheet resistance); 或電阻率從1 mili-ohm.cm to 10 8 ohm.cm (bulk resistivity).

#19. Pro-4 四點探針電阻率測量系統

Pro-4四點探針電阻率測量系統為薄片和體電阻率測量提供了簡單的答案，材料薄膜，Sic ，GaN，片電阻、電阻率或V/I.

#20. 向特科技-四點探針推薦、薄膜電阻量測推薦 - Yahoo奇摩新聞

向特科技企業有限公司（Rikatek-M Internation Inc.），為新世代國外設備/耗材代理開發商.

#21. 修 平 科 技 大 學 電 子 工 程 系

圖(七)四點探針. 四點探針原理: 片電阻(Sheet Resistance)是傳導性材料之重要特性之一，尤其是導. 電薄膜。片電阻值會受到薄膜厚度、晶粒尺寸、合金比例與雜質濃度.

#22. 洛克儀器股份有限公司Lock Instrument Co. Ltd

和半導體與金屬之間的接觸電阻(Contact Resistance)都是半導體材料及元件研發 ... 四點探針片電阻量測系統：主要針對片電阻(Sheet Resistance)的量測應用.

#23. 矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究 - 義守大學

不論在何種濺鍍條件下，薄膜的面電阻值會隨著薄膜厚度的增加， ... 用四點探針量測薄膜面電阻時，會因為四根探針壓入薄膜表面的深淺而有所.

#24. 4-point prob

金屬四點探針儀器簡介. Hardware: 4-point prob.四點探針量測系統. 控制用電腦. 機台用途: 測量金屬薄膜片電阻值、檢視金屬薄膜均勻度. 功能描述自動量測:可作單點、三 ...

#25. 以磁控濺鍍製備雙層鉬薄膜背電極之研究 - 博碩士論文網

利用冷場發掃描式電子顯微鏡觀察薄膜表面和斷面形貌，X光繞射儀進行薄膜結晶性和殘留應力分析，利用四點探針儀量測電阻率和片電阻。研究結果顯示在厚度為500 nm工作 ...

#26. 四點探針量測系統 - 國立清華大學材料科學工程學系

可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之. 1.電阻值Resistance. 2.片電阻率Sheet resistivity. 3.體電阻率Volume resistivity. 4.電導率Conductivity.

#27. 四点探针与电阻率测试设备

系统软件会控制并纪录每个量测点的位置与量测值，量测的结果如. 片电阻、电阻率和V /I(电压/电流)可在同一个量测结果的表格中表. 示． 在完成全部测试点量测时，系统会用等 ...

#28. 四點探針4 Point Probe - 國立中山大學光電工程學系

名稱： 四點探針4 Point Probe 用途 ：量測電阻值及導電率 廠牌：誌成貿易股份有限公司 重要規格： 1. ... 基板上成長一單層薄膜為最佳試片結構；需準備純基板以建構基板.

#29. Probe Sheet的價格推薦- 飛比有更多測量儀器商品

四點探針薄膜電阻量測儀Four Point Probe Sheet Resistance Meter. 99,500. i郵購. 四點探針片電阻量測儀Four Point Probe Tester / Sheet Resistance Meter (SRM101).

#30. 四點探針量測儀(FPP)使用操作手冊

四點探針 量測儀(Four-Point Probe)可以測量導體及半導體的電阻。本設備主要用途為量測半導體薄膜電阻，即片電阻係數(Sheet Resistivity)，單位為Ω/** 或ohms per ...

#31. RT 電阻量測系統 - 台灣勝米磊有限公司Semilab Taiwan Co., Ltd.

量測參數 - 四點探針(4pp), 接觸式片電阻量測 - 渦電流探針(Eddy Current ), 非接觸式片電阻量測 - 接面光電壓(JPV), 非接觸式片電, 阻漏電流量測 ...

#32. 四點探針

金屬薄膜沉積與四點探針方法 ... 根據加熱方式差異，可再分為電阻式(thermal coater)與電子槍式(E-gun ... 另外，多片晶圓的大面積蒸鍍也存在厚度均勻的問題。

#33. 四探針電阻率測試儀 - 淘寶

... 四探針電阻率測試儀？當然來淘寶海外，淘寶當前有185件四探針電阻率測試儀相關的商品在售。 ... 四探針方阻儀塑料薄膜金屬鍍層電導率電阻率測試儀ITO膜硅片測試.

#34. R100: IV電性量測針座平台及四點探針量測

服務範圍(內容) 量測薄膜的暗導值(dark I/V)及片電阻值。 使用Keithley 6430 source meter+preamp和四點探針平台，6430特性. 0.4fA p-p(4E-16A)雜訊、遠端訊號放大器可 ...

#35. 凱思隆科技股份有限公司- 關於我們 - 台灣實驗室網

凱思隆科技股份有限公司,四點探針座薄膜電阻量測儀,高頻探針Picoprobe,探針座探針台. ... 高分子薄膜、矽晶片、太陽能電池薄膜、金屬薄膜等，各種薄膜的四點探針片電阻 ...

#36. 量測儀的價格推薦- 2023年6月| 比價比個夠BigGo

RT-70V PROBE UNIT 四點探針電阻係數量測儀. [Y拍618] -6/1-6/10超贈點免費送！一點折抵一元 ... 四點探針薄膜電阻量測儀Four Point Probe Sheet Resistance Meter.

#37. 標準型四點探針(SFP series)

手動下針; 探頭更換容易; 結構穩固; 探針材質：碳化鎢或鈹銅; 用於電阻、片電阻及電阻率量測. 回前一頁. gotop. 飛白技術服務股份有限公司新竹市牛埔南路496巷17號

#38. 111 年特種考試地方政府公務人員考試試題 - 公職王

共4頁第1頁 ... 利用四點探針法之公式為ρ＝Rs × W＝. × W × CF（Ω－cm）. 其中Rs 稱為片電阻（Sheet resistance），CF 稱為修正因子，在＞＞20，一般為4.54。

#39. 四點探針台台體(SR-4) - 聖川實業有限公司

氣動的SR-4可用開關控制升降. 應用：. 表面電阻率測試; 薄膜切片電阻率測試; 半導體摻雜特性的測試; 金屬層厚度的 ...

#40. CDE ResMap 四点探针(ResMap 178)

在178型的技术基础上，ResMap273是半导体行业首款30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能， ... ResMap CDE273四探针太阳能硅片电阻率测试仪.

#41. 四點探針操作指導書 - 國立高雄科技大學

量測試片(TiO2)薄膜厚度，再進行參數設定. D.依測量需求點選所需要的選項，此試片為薄膜，所以選Thin Film Meas. Page 7. KUAS 國立高雄應用科技大學. 本資料僅提供實驗室 ...

#42. 四點探針量測 - 大永真空設備

四點探針 量測. 型號：, LRS4-TK1. 搭載電壓-電流量測儀：, Keithley 2400. 功能：, 測量試片之電阻率、薄膜電阻、體積電阻率和電導率。

#43. 四點探針- 電腦電子- 人氣推薦 - 露天拍賣

四點探針 網路推薦好評商品就在露天，超多商品可享折扣優惠和運費補助。埃塔ETA2211BNC四線屏蔽伸縮棒四點探針LCR數字電橋阻抗分析儀（舒心） 【心儀】埃塔ETA2211BNC四 ...

#44. 高溫半導體材料四點探針量測系統 - 支點科技有限公司

HRMS-800 高溫半導體材料四點探針量測系統應用於半導體薄膜和片狀的導電性能, ... 可於高溫, 真空及惰性氣體條件下量測矽, 鍺單晶(棒材, 晶片)電阻率和矽磊晶層, ...

#45. 掌上型四點探針面電阻計

掌上型四點探針面電阻計. IM-9901(SRM-8809A). 產品規格: 適用半導體鍍膜層面阻量測. 產品特色: 1、可攜式設計，操作便利。 2、9V電池供電設計。 3、面阻值直接顯示， ...

#46. 镇江超纳仪器有限公司 - 光学轮廓仪

特殊汞探針設計可直接量測無圖形晶圓。 4 point probe system 四點探針阻值量測系統適用於半導體或光電產業薄膜阻值量測。Sheet Resistance 片電阻量測Solar Cell, ...

#47. 四探針法 - 中文百科知識

四探針法是測量擴散層薄層電阻的最通常的方法。用四個等距的金屬探針接觸矽表面，外邊的兩令探針通直流電流I，中間兩個探針之 ...

#48. Resistivity Measurement_百度文库

片電阻 的量測設備包括:電源供應器(current source)、電壓計(voltage meter)及四點探針基座。以下是量測設備的操作手冊: Model 224 Programmable Current Source 操作 ...

#49. 薄膜电阻_搜狗百科

薄膜电阻具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂 ... 四点探针是使用来减少接触电阻的问题,它常被使用来确认材料的片电阻值。 感应测量也是有被使用。

#50. R50 薄膜電阻量測儀 - 楷力恩科技有限公司

Filmetrics薄膜電阻量測儀利用四點探針(4PP) 和渦流(EC) 兩種技術，來量測或測繪(mapping)金屬層厚度、薄層電阻、薄層電阻率、薄層電導和薄層電導率。

#51. 特色簡介 - 科宇系統有限公司

特殊汞探針設計可直接量測無圖形晶圓。 4 point probe system 四點探針阻值量測系統適用於半導體或光電產業薄膜阻值量測。Sheet Resistance 片電阻量測Solar Cell, ...

#52. 薄膜電阻 - Wikiwand

薄膜電阻(sheet resistance)，又被稱為方阻，具有均勻厚度薄膜電阻的量度。 ... 四點探針，也被稱為四探針法，是測量薄膜電阻最常用的一種方法。

#53. 四點探針薄膜量測Four Point Probe Sheet Resistivity-专业探针台

The system is equipped with manual prober or 4 point prober, Ohmmeter/SMU, and software to realize the Resistance[Ω] / Sheet Resistance[Ω/☐] / Volume ...

#54. 向特科技-四點探針推薦、薄膜電阻量測推薦 - 店家日報Buzzdaily

向特科技企業有限公司(Rikatek-M Internation Inc.) 為新世代國外設備/耗材代理開發商，市場領域遍及便半導體，複合半導體, 光電, 面板, 太陽能．

#55. 四點探針薄膜電阻量測苗栗客製化軟體苗栗片電阻 ... - 台灣商業誌

苗栗ESD靜電量測設備｜苗栗ESD靜電檢測儀器｜苗栗四點探針｜苗栗薄膜電阻量測｜苗栗片電阻量測｜苗栗手持式薄膜電阻量測｜苗栗晶圓電阻率量測｜苗栗四 ...

#56. 凱思隆科技股份有限公司

Keithley 儀器軟硬體系統整合服務. 整合手動探針台，提供Keithley量測儀器與客製化的量測程式。例如：. MOSFET I-V、四點探針片電阻、溫度電阻、太陽能電池效率…

#57. 向特科技-四點探針薄膜電阻量測-苗栗ESD靜電量測 - 店家日報

苗栗ESD靜電量測設備,苗栗ESD靜電檢測儀器,苗栗四點探針,苗栗薄膜電阻量測,苗栗片電阻量測,苗栗手持式薄膜電阻量測,苗栗晶圓電阻率量測,苗栗四點探針探頭,苗栗色差儀, ...

#58. 國立台灣師範大學

2-4 霍爾效應與四點探針量測. ... 心位置，且每一四面體的方向皆沿著六角柱中心軸的方向，使氧化鋅 ... 透過van der Pauw 四點探針，我們可以利用薄膜的片電阻值，.

#59. 非接觸薄膜電性檢測技術與應用 - 機械工業網

目前片電阻檢測方法多使用四點探針方法，但因屬接觸式，必須在靜止情況下量測，速度無法提昇，且探針亦容易刺穿軟性導電層而造成破壞，所以必須發展非接觸阻抗量測來 ...

#60. 積體被動元件之薄膜電阻材料開發與特性研究

本研究主要在探討氮化鋯,氮化鉭及氮化矽鉭. 薄膜材料之電阻隨溫度上升的變化情形,以了解其. 於被動元件中薄膜電阻之應用.試片利用四點探針. 測量其片電阻值與溫度的變化 ...

#61. 凱思隆科技股份有限公司KeithLink提供探針與量測軟硬體系統 ...

適用於：晶圓(直流電性、或高頻)量測；液晶面板量測；觸控面板ITO薄膜、導電高分子薄膜、矽晶片、太陽能電池薄膜、金屬薄膜等，各種薄膜的四點探針片電阻率導電度量測； ...

#62. 高阻值薄膜電阻之研究

電阻率使用四. 點探針法測得片電阻值(Rs)再與厚度(t)相乘得知。薄膜TCR值,使用電阻量測治具,量測時固定探針壓力以及量測. 位置,先量測 ...

#63. 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用

通过应用该测量仪器对国内某公司的产品进行测量，发现原来用普通四探针测量（测5点）非常均匀的100mm n型（区熔）硅片，经过实际多点（实测1049点）无图形测试，测试区域（ ...

#64. 晶片電阻

高阻值晶片電阻片電阻值的測量是很常見的方法,去分析均勻性導電或半導體性coatings和材料， ... 接觸式四點探針通常被應用於單點測量硬或粗糙的材料。

#65. 透明導電薄膜簡介 - 台灣儀器科技研究中心

(Hall effect measurement)。圖9 為四點探針量測薄. 膜電阻示意圖(s 為探針與探針間之距離)，其工作. 原理係利用四根探針接觸到薄膜表面，施加電壓／. 電流而量測電流或 ...

#66. 新穎氮化鉭鋯薄膜擴散阻障層材料應用於銅製程之研究

而薄膜片電阻與電阻率則是利用四點探針(Four point probe, Model RT-7, Napson, Japan)量測得到。另外，實驗中亦利用歐傑電子光譜儀. (AES; VG Microlab 350, UK)量測Cu / ...

#67. 實驗二金屬薄膜沉積與四點探針方法Metal deposition and 4 ...

11 Step Coverage 在起伏較劇烈的表面，蒸鍍之金屬斷裂不連續。另外，多片晶圓的大面積蒸鍍也存在厚度均勻的問題。為此，晶片承載臺加上公轉自轉的轉盤 ...

#68. 凱思隆科技股份有限公司 - 工商快訊

主要產品︰ 探針台、探針座、手動探針台、四點探針座、四點探針量測儀、薄膜電阻量測儀、薄膜電阻測試系統、高頻探針、高頻探針座、高頻探針台、校正片、低阻量測 ...

#69. 高熵合金Alx CoCrFeNi (x = 0 - 臺灣國際科學展覽會

實驗結果呈現殘留85%的電阻率，表示高熵合金的晶格內有高濃度的本質缺陷 ... 所謂四點探針是常被用於量測片電阻的量測儀器，薄膜片電阻以四點探針量測，.

#70. 溫度對TixFeCoNiOy 薄膜電阻率之影響 - 中國文化大學

再將所得片電阻乘上薄膜厚度，即可求得薄膜之電阻率—ρ。 圖3-5-3 四點探針原理示意圖[8]. Page 62 ...

#71. 向特科技-四點探針薄膜電阻量測-苗栗縣

苗栗ESD靜電量測設備,苗栗ESD靜電檢測儀器,苗栗四點探針,苗栗薄膜電阻量測,苗栗片電阻量測,苗栗手持式薄膜電阻量測,苗栗晶圓電阻率量測,苗栗四點探針 ...

#72. 膜片電阻採用四探針與兩探針方法測試電阻差異 - 每日頭條

薄膜電阻在電池中這兩種方法進行測試各有差異，不夠這些方法也是最好進行薄膜電池在電池行業中的測試手段。 文章來源：www.microhm.com. 點我分享到 ...

#73. 极片电阻测试方法探究-单探针&两探针&四探针 - 知乎专栏

电压检测的两探针须与电流源两探针分离，因电压检测两探针所接之处，两点之间所有的主回路电阻都将计入测量电阻。但是如果待测样品电阻很大，可能很难保证 ...

#74. 第十七屆全國AOI論壇與展覽

展品資料. 非接觸式片電阻量測模組：非接觸式片電阻量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非接觸量測待測物阻抗特性，相較於傳統探針接觸式量測樣品 ...

#75. 鈦氮化物薄膜之微結構與特性研究

掃描式電子顯微鏡、四點探針、恆電位儀、電化學阻抗譜、薄膜厚度輪廓測量儀等方法 ... 微結構比單一的TiN 膜層更穩定，且當金屬膜為氮化物膜時，膜的電阻率增加，最後 ...

#76. 可應用在薄膜電阻的Taiwan Build-Up Film

片電阻 值的測量是很常見的方法,去分析均勻性導電或半導體性coatings和材料，例如，品質驗證 ... 接觸式四點探針通常被應用於單點測量硬或粗糙的材料。

#77. 奈米透明導電薄膜- 產品介紹- 新聞訊息

面阻值(Surface Resistance), ohm/sq, 150+/-10%, 200+/-10%, 300+/-10%, 四點探針 4-point Probe ... 熱收縮電阻變化率

#78. PRODUCTS/ 產品資訊/四點奈米探針 - 科榮股份有限公司

PRODUCTS/ 產品資訊/四點奈米探針. 特性材料/耗材. CNT(奈米碳管) 二氧化矽奈米懸浮 AFM tips GRAPHENE Tekna 球形化粉末/奈米粉末. 製程設備.

#79. 向特科技-四點探針薄膜電阻量測苗栗晶圓電阻率量測苗栗四點 ...

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#80. 繁體字-会社案内| NPS株式会社エヌピイエス株式会社

用於電阻率測量儀器如半導體和薄膜層的四點探針相關器材 2.半導體，液晶薄膜的片電阻率測量儀 3.用於半導體IC（ULSI，VLSI等）的高性能探頭 4.微波測量探頭和測量裝置

#81. 四针探测和万用表探测电阻有什么不同？工作原理是什么？

通过应用该测量仪器对国内某公司的产品进行测量， 发现原来用普通四探针测量（测5点）非常均匀的100mm n型（区熔）硅片，经过实际多点（实测1049点）无 ...

#82. 霍爾效應測試儀 - 元智機械系

... 可用於確認半導體薄膜電特性，如載子濃度、移動率、電阻率及霍爾係數等。本系統配備電流電壓量測功能以確認試片歐姆接點特性。主要利用Van Der Pauw 四點探針法和 ...

#83. 美隆電子有限公司MAYLOON ELECTRONIC CO., LTD.,

雖然四點探針比兩點探針量測來得好,但正确的電阻量測卻和量測儀錶設備,. 使用的器具乃至所使用的量測條件都有關係。 Page 2. 美隆電子有限公司. MAYLOON ELECTRONIC CO., ...

#84. 以掃描探針微影術製備奈米元件及其特性分析(I) 研究成果報告 ...

模擬，控製鍍鎳膜厚度成功的製備低電阻相. NiSi 奈米線。 ... 米線電阻性質的研究中指出：奈米金屬導線因 ... 其顯微結構及以四點探針的量測方式，測量奈. 米線的電阻 ...

#85. 型號| 一體成型探針標準型 - MISUMI

MISUMI的一體成型探針標準型，FA・模具零件、工具・工場消耗品的訂購就交給MISUMI。 ... 全行程, 彈簧壓力, 容許電流, 電阻值, 更換參考次數, 壓入用安裝孔尺寸(參考) ...

#86. 凸塊接點之電阻測量結構及包含其之封装基板

而. 應用於封装基板中,則可測試連接銲錫凸塊是否有缺陷。 習知測量電阻之方法中,有使用凱文結構(kevin. 或稱四點探針結構 ...

#87. [問題] 四點探針電導率換算問題- 看板Electronics - 批踢踢實業坊

作者kenneth317 (小新). 看板Electronics ; 看板Electronics ; 標題[問題] 四點探針電導率換算 ; 時間Tue May 22 20:18:17 2012 ; 推gin9:電阻率=Rs．t(片電阻．厚度)! ...

#88. 四線式與二線式電表之差異 - 唐和股份有限公司

但若測量的對象是0.01Ω這種超小阻值時，這種測量架構會變得不準確，原因是銅線本身也帶有阻抗，當待測物的電阻與導線阻抗(既Figure 1.1 r1與r2)旗鼓相當的 ...

#89. 淡江大學機構典藏

題名: 聚(3,4-乙烯基二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸鹽)-鉑奈米粒子混成導電薄膜 ... 穿透度；經四點探針和EIS分析，PEDOT:PSS在EG改質後，片電阻值和電阻值 ...

#90. 四探針薄膜電阻測試儀 - 阿里巴巴商務搜索- 1688

M-3型四探針測試儀方阻導電率ITO膜硅片測試儀塗層薄膜探頭 · 三豐精密量儀（廣東）有限公司 3年. 月均發貨速度： 暫無記錄. 廣東廣州市. HPS2524四探針方阻測試 ...

#91. 四探針法 - 中文百科全書

四探針法是測量擴散層薄層電阻的最通常的方法。用四個等距的金屬探針接觸矽表面，外邊的兩令探針通直流電流I，中間兩個探針之 ...

#92. 攝氏華式換算器 - DigiKey

NTC 熱敏電阻 查看. 熱電偶、溫度探針 查看. 類比與數位輸出 查看. 電阻溫度偵測器(RTD) 查看. PTC 熱敏電阻 查看. 熱電偶、溫度探針

#93. 被動元件醞釀復甦| 雜誌| 聯合新聞網

二二元，由於本身在標準品營收占比低，業績相較同業優異，今年元月營收下探至八五．三億元落底後開始回升，到四月已來到九○．一億元，首季EPS九．九元 ...

#94. 四探针法测半导体电阻率 - 网易公开课

四探针法测半导体电阻率. 2544次播放; 03:18. 网易公开课（32.5万）. 立即下载. 课程目录(55)全部课程. 03:18. 四探针法测半导体电阻率. 02:47. 强场效应.

#95. 半導體製程設備技術 - 第 93 頁 - Google 圖書結果

而離子植入製程這道步驟中以摻雜物接面的深度和濃度最為重要,一般業界較常使用四點探針來量測矽晶圓表面上的片電阻(Sheet Resistance),利用熱波法來量測晶體損傷程度即 ...

#96. 奈米薄膜技術與應用 - 第 374 頁 - Google 圖書結果

... 20nm × 1.5nm )作為透光率和片電阻( sheet resistance )測量試樣的基片。 ... 試驗中採用 SDY - 5 型雙電測四點探針( four point probe )測試儀測量薄膜片電阻。

#97. 深次微米矽製程技術 - 第 241 頁 - Google 圖書結果

片電阻 ( sheet resistance )可由四點探針( four point probe )量測。 6.4.3 金屬有機化學氣相沉積以銅作內連線會有銅擴散的問題,必須引入金屬阻障層。