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#1. 量測與檢驗
除了度量和晶圆检测,芯片制造商还要依靠缺陷检查、分析和归类等技术,监控制造工序各步的完成质量。度量程序用于验证在制造工序的每一步,所制造的器件在物理和电学 ...
#2. 半導體行業Metrology指什麼 - 上海市有色金属学堂
半導體 生產流程由晶圓製造、晶圓測試、晶元封裝和封裝後測試組成。半導體封裝測試是指將通過測試的晶圓按照產品型號及功能需求加工得到獨立晶元的過程。
#3. 半導體分析、圖像和計量資訊 - Thermo Fisher Scientific
Semiconductor Analysis, Imaging, and Metrology Information ... 雲計算、物聯網(IoT)、汽車,人工智能和其他用途的需求增加,對半導體晶圓的需求亦將持續強勢成長。
半導體 計量學 ... 為了協助您生產最高品質的晶圓,安東帕提供晶圓計量工具,用於監控薄膜品質、評估金屬化過程中的表面粗糙度、瞭解外層的表面化學性質以及特性分析晶圓缺陷 ...
#5. 半導體先進檢測與計量國際論壇 - SEMICON Taiwan
Theme: Innovation and Commercialization of Inspection and Metrology Technologies Leading the Way in Semiconductor Advanced Process.
#6. 確保5G AIoT應用安全可靠半導體測試與檢測技術迎來典範轉移
另一方面,先進檢測(Inspection)和計量(Metrology)技術,亦是推動半導體產業持續成長的重要力量,也因此,2019年SEMI特別邀集業界大廠和學研機構 ...
#7. 【ASML關鍵量測機台的誕生#WeChallenge】 在2000年代 ...
在2000年代早期,「量測」(Metrology)並不是新的技術,半導體製造商在當時已經使用光學系統偵測轉印在晶圓上的線路圖案,其中遇到的瓶頸:要檢測晶圓上如此細小的 ...
#8. 半導體
在VIEW 以解決方案為導向的領導地位的推動下,高性能且可靈活配置的非接觸式計量平台已成為當今領先的半導體製造和先進封裝生產環境的關鍵部分。 VIEW 計量解決方案已經在 ...
利用這些半導體感測器收集的高解析度3D 資料可以對電路拓撲進行必要詳細檢查。 3d-metrology Semiconductor Industry.
#10. 從被動回應到即時監測,乃至主動預測:原位半導體計量的新時代
原位測量(in-situ metrology)與控制伴隨諸多挑戰。要實現有效的製程控制,就需要實現靈敏度高、可重複性強的即時測量。然而,許多製程與腔室清洗氣體 ...
#11. 半导体量测检测包括什么? - 知乎专栏
深爱母校的材料学硕士,15年应用工程师经验,聚焦芯片量测Metrology,耳濡目染缺陷检测Defect Inspection及Review. 写作爱好者:本科新闻学双学位。论文“后段BEOL铜制程OCD ...
#12. 半導體事業部--Metrology 演算軟體開發工程師(南部)|大量科技
半導體 事業部--Metrology 演算軟體開發工程師(南部) 全職. 月薪35,000~60,000元 (固定或變動薪資因個人資歷或 ... Metrology演算法開發**依學經歷核定薪資及職等** ...
#13. 工學院專班半導體材料與製程設備學程
Optimization of Critical Dimension (CD) Measurement Metrology. 研究生: 黃閔顯 ... 半導體製程中最小線寬一般稱之為臨界尺寸,在半導體產業量產上對.
#14. KLA的半導體檢測帝國
從1997年KLA和Tencor合併之後,KLA又再策略性的併購了27家額外的公司,使其在不同市場都有有非常完整的Metrology和Inspection的產品線,打造了其技術和市場上又寬又深的 ...
#15. 疊對量測不確定度評估 - AOIEA
鏡判讀半導體製程中層對層之間的疊對準確度已愈趨困難,根據ITRS(International ... 對於新世代製程控制量測誤差評量表的急劇縮小,我們需要更清楚了解由metrology.
#16. 检验与计量:半导体工业的全新解决方案 - Marposs
半导体 坚硬但易碎,需要专用机床进行切片、研磨、减薄、测试、划片和封装。 对于半导体制造过程的管理来说,在有电路和无电路的晶圆上发现缺陷以提高和保持高产良品率, ...
#17. 台大課程評價:半導體檢測技術Advanced ... - NTU Rating
半導體 檢測技術. Advanced Metrology for Semiconductor Manufacturing. Course Information. Instructor. 傅尉恩. Latest Semester. 110-2. Department.
#18. Raman spectroscopy for dimensional metrology in ...
HORIBA 法國原廠於2021年6月24日舉辦的VIP網路會議討論了拉曼光譜儀在半導體尺寸測量領域中的重要性。 完整的webinar請在此連結觀看: ...
#19. Design Based Metrology System : 日立先端科技在台灣
Introducing the product lineup of design based metrology system. ... 首頁 · 產品·服務 · 半導體製造装置 · Etch, CD-SEM and Defect Inspection Systems ...
#20. 第二十三章半導體製造概論
在這個體系中,半導體製造,也就是一般所稱的晶圓加工(Wafer fabrication),是資金 ... 特性量測,以檢驗加工結果是否在規格內(Inspection and Measurement);如此.
#21. 冲成成立於1996年,為一專業半導體
冲成成立於1996年,為一專業半導體,太陽能及LED儀器設備代理商,致力於引進國外半導體,太陽能 ... (2015年ISIS sentronics GmbH更名為sentronics metrology GmbH)。
#22. 基於支持向量迴歸及支持向量資料描述之半導體CVD製程虛擬量 ...
在先進的半導體製造(Semiconductor manufacturing)中,生產製程上之晶圓皆須進行監控以維持生產 ... 本論文提出一套虛擬量測(Virtual Metrology, VM)系統來克服這個問題。
#23. 半导体制造设备批次控制的背景条件偏差估计方法和系统
US6725098B2 * 2001-10-23 2004-04-20 Brooks Automation, Inc. Semiconductor run-to-run control system with missing and out-of-order measurement handling.
#24. MPL-300 Wafer Diagnostic Metrology - 權明科技
權明科技,半導體,熱處理,機台,維修,零件,代理,WaferMasters,RTP,RTF,TSV,Through,Silicon,Via,3D,IC, ,WaferMasters,Wafer,masters,權明,科技,Nikon,Canon,ASML,半導體 ...
#25. 量测 - KLA
KLA's comprehensive metrology portfolio includes Archer, ATL, SpectraShape, ... KLA提供一系列探针式和光学轮廓仪,支持半导体IC、功率器件、LED、光子 ...
#26. FormFactor Inc. - LinkedIn
FormFactor Inc. 半導體製造. CALivermore 15,247 位關注者. Semiconductor test and measurement – from lab to fab. 查看 ...
#27. PCB Shop / Global Business from here - 新微科技股份有限公司
... 半導體之電鍍Plating, 清洗Wet Chen, 蝕刻Wet Etching, 檢測AOI, Metrology ... 業務遍及涵蓋所有亞太地區的半導體晶圓廠前段及後段製程,和半導體先進封裝製程廠 ...
#28. Metrology 演算軟體開發工程師(北部)|大量科技股份有限公司
桃園市八德區工作職缺|Metrology 演算軟體開發工程師(北部)|大量科技股份有限公司|月薪3.5萬至6萬元|2022/12/11|找工作、求職、兼職、短期打工、實習, ...
#29. 量測半導體前段製程之關鍵尺寸量測技術說明會(線上)
因此,本研討會邀請Malvern Panalytical之李秉中博士介紹業界常使用之X光量測機台以及了解X光設備技術對於半導體產業應用。此外,由國家度量衡標準實驗室何柏青研究員介紹 ...
#30. Overlay 半導體 - Mhs 365
Overlay control based on DI metrology of optical targets has been the primary basis for run-to-run process control for many years.
#31. 虚拟量测Virtual Metrology-解决方案 - 众壹云
虚拟量测(Virtual Metrology)产品可以在某些工艺节点缺乏有效的检测手段从而 ... 半导体行业平台 · 晶圆行业的工业互联网工业APPs市场AWIIP: 集成电路工业互联网平台.
#32. FSM - 應力及厚度在線量測系統 - teltec.asia
在線量測(INLINE METROLOGY) - 薄膜應力及晶圓彎曲度 ... 半導體和平板應用的弓型和球型薄膜應力繪圖 ... 空間尺寸量測(DIMENSIONAL METROLOGY).
#33. Die and Wire Bond Metrology Inspection – MVP 900 DWMS
Focused on Quality, Metrology and Automation, the 900 series provide automated inspection and measurement solutions to the semiconductor, microelectronics and ...
#34. Semiconductor Metrology
Metrology. 半导体设备目录. CATALOG. Page 2. 01 半导体晶圆及集成电路工艺分析设备. 四探针电阻率测试仪 ... Si, SiC, GaN, GaAs等低阻及高阻半导体材料都可以测量.
#35. 應用暫態製程資料分析於+半導體晶圓品質虛擬量測+與+品質量 ...
應用暫態製程資料分析於半導體晶圓品質虛擬量測與品質量測簡化. Application of Transient Production Equipment data on Virtual Metrology for Wafer Quality ...
#36. 化學機械平坦化拋光墊量測(CMP Pad Metrology In ... - 大量科技
PCB設備、PCB成型、PCB鑽孔、玻璃面板加工、半導體檢測設備、化學機械平坦化,拋光墊量測.
#37. 全球半導體計量和檢測設備市場- COVID-19 的增長、趨勢
Global Semiconductor Metrology and Inspection Equipment Market - Growth, Trends, COVID-19 Impact, and Forecasts (2022 - 2027). 出版日期: 2022年 ...
#38. 全晶圓式歐傑電子質譜缺陷檢測分析設備的性能與應用
EDS、FIB 等技術於一身的半導體缺陷檢測及材料表面分析設備(defect review tool and ... 但進入半導體量測(metrology) 設備領域,這部分. 本身就有相當的規範要求。
#39. 產品服務| 巨沛股份有限公司
自創業以來,公司一貫秉持對半導體科技專業的技術以及對客戶誠信的原則,從事半導體封裝, ... Packaged IC Inspection and Metrology Systems<BR>ICOS™ MV996L™.
#40. 熊學毅教授級專技人員 - 國立中山大學半導體及重點科技研究學院
雷射精密加工應用-Laser precision machining applications; 非接觸式量測分析-Non-contact metrology measurement. 經歷:. 1996~1998 楠梓電子SMT工程師 ...
#41. Piezo Metrology Concept | 博世半导体 - Bosch Semiconductors
The basic material parameters like film thickness, refractive index and stress are obtained within hours after deposition on product or test wafers. But those ...
#42. 台積公司領先建立「整合性材料供應生態系統」 - ESG
民國106年,台積公司以「台灣半導體材料技術委員會」主席身分,受邀參加國際半導體產業協會台灣分部(SEMI ... 先進量測技術(Advanced Metrology).
#43. 3D晶圓量測系統Model 7980
(本產品前身為Chroma 7505 半導體先進封裝光學量測系統). Chroma ATE. 817 subscribers. 3D Wafer Metrology System - Chroma 7980. Info. Shopping. Tap to unmute.
#44. 微耐米三維表面量測設備
微機電系統的大量製造是基於半導體製造設備--包括來在FRT, 用於二維及三維晶圓檢查的非接觸式, 高解析度度量學工具. Leaflet for the automotive industry. Metrology ...
#45. 困境成其大–台灣半導體自動化教父鄭芳田 - 科技大觀園
過去幾年來,成功大學製造資訊與系統研究所鄭芳田講座教授以全自動虛擬量測(Automatic Virtual Metrology)的研究,拿到了行政院傑出科技貢獻獎、科技部傑出研究獎、 ...
#46. IC 製程- 漢民科技- 提供半導體製造與平面顯示器製程設備
晶片透過離子束植入離子,增加半導體導電性,形成p 型或n 型半導體主要分為高電流、 ... 提供全方位半導體測試解決方案. 製程檢測/監控. 製程檢測(Process Metrology)
#47. 國立中央大學- 教師履歷平台
... optics Nanoplasmonic Devices Optical Properties of Nanoscale Dielectrics Semiconductor Defect Metrology 半導體缺陷檢測 奈米電漿元件 奈米介電質之光學特性.
#48. 半導体製造装置用語集(計測 : Metrology)一覧
SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会の半導体製造装置用語集(計測 : Metrology)一覧のページです。
#49. 半導體微影製程疊對控制之研究The Study of ... - CHUR
其間歷經了DRAM 產品的世代微縮,從90 奈米到45. 奈米,以及目前量產階段的30 奈米;在每個新世代產品的開發之初所要面臨最多的. 問題就是疊對量測指標(overlay metrology) ...
#50. ASM 太平洋— 全球領先的半導體集成和封裝設備製造商,與 ...
個案研究: ASM 太平洋— 全球領先的半導體集成和封裝設備製造商,與Renishaw 合作實現 ... An incremental encoder engineered for metrology: Introducing ATOM DX™ ...
#51. AOI 自動光學檢測設備- 半導體產業 - 均豪精密工業股份有限公司
Wafer / Panel Size, 4”~12”Wafer/ ~600mm x600mm Panel ; Mag. ; Inspection Items, Surface defect, probe mark, RDL, bump, pillar and metrology ...
#52. 第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性
【圖9】 1989~2007 全球半導體市場、成長率與趨勢圖,資料來源WSTS、IC. Insights 與本研究整理。 有了前兩次循環的經驗,除了DRAM/Flash 業者必須靠興建12 吋廠以降低.
#53. 電子束檢測- 维基百科,自由的百科全书
電子束檢測(Electrons Beam inspection,簡稱E-beam inspection、EBI),用於半導體元件的缺陷(defects)檢驗,以電性缺陷(Electrical defects)為主,形狀 ...
#54. 电子、半导体和太阳能技术 - Polytec
Surface metrology for laser structuring of thin-film solar cells ... 您可以将Polytec 在半导体行业的多功能解决方案完美地用于您在电子和太阳能技术行业的应用。
#55. Semiconductor metrology products | Rigaku Global Website
Since its inception in 1951, Rigaku has been at the forefront of analytical and industrial instrumentation technology. Today, with hundreds of major ...
#56. Tropel® UltraSort™ II FlatMaster® SAW
The Tropel UltraSort II FlatMaster SAW system integrates a grazing-incidence interferometer with automated staging for improved wafer loading and measurement ...
#57. 奈米尺度電性縱深分析(DHEM) - 國研院台灣半導體研究中心
機台: 差分霍爾效應量測(Differential Hall Effect Metrology) ... 系統主要分為: Hall measurement系統,化學腐蝕裝置及管路系統
#58. 領域介紹 - 國立清華大學半導體研究學院
設立半導體元件部旨在為學界及產業界培養半導體元件的研發人才,並提供半導體技術的前瞻 ... and metrology equipment to its ultimate limit is extremely important.
#59. 台大精密量測實驗室NTU ME PMLab - Google Sites
NTU ME Precision Metrology Laboratory ... 智能化關鍵演算法開發、符合阿貝原理之奈米級精密量測關鍵技術與平台的開發、創新式智能化AOI量測系統之開發、以及半導體 ...
#60. 線上半導體2nm製程關鍵尺寸X光量測設備 - 解密科技寶藏
The XRCD metrology tool measures multilayer GAA structures and monitors critical dimensions with atomic-level resolution, reducing measurement ...
#61. 全球五大半導體設備供應商客戶國別佔營收比例分析_2022版
全球半導體設備供應商營收排名前五大的公司依序為美商應材、荷蘭ASML、日商東京威力科 ... 美商KLA:量測(metrology)、檢驗(inspection)及其他。
#62. Wafer measuring equipment - 御微半导体技术有限公司
Alignment measurement of overlay in semiconductor production. High sensitivity、Process adaptability、Superior CoO、User-friendly、Factory automation ...
#63. 量測設備
廠牌. Brand 型號. Model 數量. Quantity Nanometrics Atlas II+ 1 Nanometrics Atlas II+ 1 Nanometrics Nanospec 9300 1
#64. Nova: Metrology solutions & tools for semiconductor
Our technologies provide semiconductor manufacturers with the right process insight & clarity required to boost process performance!
#65. Characterization - Merck
Intermolecular ® has invested in a full suite of metrology tools to enable real-time feedback on deposited film characteristics.
#66. DSM8/200 Gen2 計量系統
該系統需要非常小的佔地面積和低擁有成本。 同時,它為雙面對準和曝光應用提供可靠且極其準確的計量,這些應用經常用於MEMS 設備、功率半導體和光電子產品的製造。
#67. 台灣勝米磊有限公司Semilab Taiwan Co., Ltd.
SEMILAB為第三代半導體、太陽能、平板顯示、LED等行業及科研機構提供最先進的測試設備。總部位於匈牙利布達佩斯,在美國擁有研發和產品中心;中國、法國、德國、 ...
#68. NML 國家度量衡標準實驗室-首頁
主題:數位時代的計量(Metrology in the Digital Era) ... 套度量衡標準系統擴建,使我國校正服務再升級,可協助國內智慧機械、半導體、生醫、航太等產業提升競爭力。
#69. 消息 - 國祥貿易
2022 Nikon 顯微鏡攝影大賽得獎名單;好評熱賣! NIKON VMZ - S 系列陸續到貨裝機中;Nikon產品設備價格調整通知公告;【活動快訊】國際半導體展SEMICOM 在台灣9/14-9/16 ...
#70. semiconductor metrology - Linguee | 中英词典(更多其他语言)
大量翻译例句关于"semiconductor metrology" – 英中词典以及8百万条中文译文例句搜索。 ... 半导体、航空航天、国防、天文学和计量学的先进的光学和特殊材料解决方案。
#71. 台灣就業通- 找工作-- 公司介紹
收藏 摘要. 摘要 職缺更新日期 學歷 工作地區 我要應徵 收藏. ☆ 摘要 2022/12/02 高職 新竹縣寶山鄉 我要應徵 收藏. ☆ 摘要 2022/11/28 專科 新竹縣寶山鄉 我要應徵 收藏. ☆ 摘要 2022/11/14 高職 新竹縣寶山鄉 我要應徵
#72. 半導體檢測/量測設備 - 達裕科技首頁
Feature. *Metrology-Grade Accuracy with MRS Technology. -Sub-micrometer accuracy for features as small as 25 µm. -Accurately inspect shiny or mirror-like ...
#73. 大量上半年EPS上看4元 - 奇摩股市
大量設備主要供應PCB、半導體兩大產業,而近年半導體的布局有成,成為該公司 ... CMP Pad Metrology產品除通過第一家客戶實質產品認證階段,也如預期 ...
#74. TTC Group・Trust Technology (二手半導体設備等)
Metrology /Inspection tools (KLA-Tencor SFS 6xxx/7xxx, P-10/15 etc.) Laser Repair(ESI) He Leak DetektorNew. Wanted --- LCD, Electrical Components, Machine Tools ...
#75. 【焦點新聞】產官學攜手研發大躍進成大智慧製造技術導入力積 ...
國立成功大學智慧半導體與永續製造學院與晶圓代工大廠力積電簽約,計劃驗證、導入全自動虛擬量測(Automatic Virtual Metrology, AVM)系統與智慧型 ...
#76. 影片欣賞-帶你了解半導體 - Advantest
減少消耗電力,以減少碳排放(CO2),所以對能源的善用也會帶來貢獻。 AI(人工智能)和SDGs. 人工智能(AI)基本上全都是半導體組成的 ...
#77. X光散射術之半導體檢測應用 - 機械工業網
In this paper, we can know that X-ray scatterometry is a powerful tool in the metrology of semiconductor processes. 關鍵詞:X光、疊對位移、半導體製程.
#78. Metrology Laboratory Software Download - NI
Engineer Ambitiously. 解決方案. 半導體 · 交通運輸 · 航太、國防與政府機構 · 學術研究 · 電子 · 能源 · 工業機械 · 合作夥伴.
#79. Equipment and Module - INTERTEC TAIWAN CORPORATION
No Category Tool Name Maker Model Size F39 METROLOGY CV_INSPECTION SSM SSM 530 12 F40 METROLOGY ELECTROSTATIC SENSOR KEYENCE SK‑200,SK‑030 F41 METROLOGY FILM_THICKNESS_MEASUREMENT DNS VL‑M8000‑5 8
#80. 【免費活動】半導體檢測與量測設備之先進運動控制與定位技術 ...
Semiconductor inspection and metrology applications has become an area that achieves significant growth. Due to the continuous miniaturization of semiconductor ...
#81. -a.電性量測與光學量測系統- 智果整合有限公司
電性量測平台-Electrical measurement system. 半導體元件真空變溫參數特性-Vacuum IV/CV Probe Station ... 非接觸式量測系統-Non-Contact Corona-Kelvin Metrology.
#82. Handbook of Silicon Semiconductor Metrology - 博客來
書名:Handbook of Silicon Semiconductor Metrology,語言:英文,ISBN:9780824705060,頁數:874,作者:Diebold, ... 外文書>自然科普>科技與應用科學>半導體 ...
#83. FRT晶圓及3D形貌量測設備-勤友企業股份有限公司
應用. 電子及半導體:PR、PI、thin film thickness、wafer warpage(翹曲)、Bow、TTV、Fan-out量測 ...
#84. Research Teams - A世代前瞻半導體技術專案計畫
Research Teams · Atomic-scale metrology and inspection · Key materials for future devices · Angstrom-scale device and circuit.
#85. 以SRM技術監測微影製程控制因子與光阻 - EDN Taiwan
訊號回應度量(Signal Response Metrology,SRM)是一種新的測量技術,透過將 ... 由於各類元件對製程微縮的持續需求,微影技術在現今的半導體產業扮演 ...
#86. 企業簡介 - 智慧製造資訊應用解決方案手冊
應用行業別, 機械產業, 其他:射出成型、半導體/面板/印刷電路板 ... MES: Manufacturing; VM: Virtual Metrology; PMQ: PM (Preventive Maintenance) Qualification; ...
#87. CyberOptics將在SEMICON China展會上展示計量和檢測解決 ...
CyberOptics WX3000(TM) Inspection and Metrology System (Graphic: ... 該公司還將展示用於半導體工具設定和診斷的高精度WaferSense®感測器。
#88. 半導体製造工場における Virtual Metrology 技術 - J-Stage
半導体 製造工場における Virtual Metrology 技術. 岡崎 隼也 ... り,自動車や化学,そして半導体業界などにおけ ... 仮想的に予測する VM(Virtual Metrology)技術の.
#89. 產品介紹 - EMINTEK 一鳴國際科技有限公司
PROCESS EQUIPMENT 半導體製程設備-產品介紹:Rapid Thermal Process RTP/RTA 快速升降溫退火爐、PLASMA ETCH/RIE 電漿乾 ... METAL FILM METROLOGY 金屬膜厚量測設備.
#90. The Matching of Metrology Tools in Semiconductor ...
... 2007, Wei-Ting Kary Chien and others published The Matching of Metrology Tools in Semiconductor Manufacturing (半导体生产测量设备的匹配) ...
#91. Process Watch:良率管理走向環保之路
作者按語:Process Watch 探索了一系列半導體產業製程管制(缺陷檢測與量測)的關鍵 ... metrology,」 第26 屆國際半導體設備材料產業協會(SEMI) 先進半導體製造大會,.
#92. 半導體生產自動化與智慧工廠
P. 16. ❑ Predicable PM. ❑ Virtual metrology. ❑ Waste Time reduction. ❑ Material consumption. ❑ Intelligent Data mining. 半導體智慧工廠的新挑戰 ...
#93. 3D Metrology Software | Metrology 4.0 | Taylor Hobson
Taylor Hobson's advanced metrology software enables dimensioning in accordance with part drawings and provides an exact reflection of the Part Co-ordinate ...
#94. 緯利股份有限公司正式與Nearfield Instruments BV簽署合作 ...
位於荷蘭鹿特丹的Nearfield Instruments BV公司開發了High-Throughput Scanning Probe Metrology systems,該系統可以直接測量半導體製造過程控制參數,而這些參數很難 ...
#95. 訊息發佈-精石精密量校科技國際顧問有限公司
全球領先、世界首創—精石精密集團全新推出Metrology台灣黑馬牌,1微米超級電子卡尺 ... 美國最著名之半導體及電子元件製造廠—ON Semiconductor Inc採購Metrology台灣 ...
#96. KLA 推出革命性X 射線量測系統,解決記憶體晶片垂直結構量測 ...
半導體 設備廠科磊(KLA) 宣布推出革命性的Axion T2000 X 射線量測系統,供先進的記憶體晶片製造商使用。 KLA 表示,3D NAND Flash 及DRAM 記憶體晶片的 ...
#97. 半導體測試設備專題報告:進口替代正當時 - 人人焦點
「量」:測量(Metrology),也叫量測。測量=量測。 「試」:測試(test)。 下表綜述了半導體行業廣義檢測設備的分布情況。
metrology半導体 在 【ASML關鍵量測機台的誕生#WeChallenge】 在2000年代 ... 的推薦與評價
在2000年代早期,「量測」(Metrology)並不是新的技術,半導體製造商在當時已經使用光學系統偵測轉印在晶圓上的線路圖案,其中遇到的瓶頸:要檢測晶圓上如此細小的 ... ... <看更多>