億力鑫,光阻整體解決方案的供應商!
你知道嗎?
在 #半導體黃光製程 中
光阻塗佈設備是第一站
因此塗佈機的穩定及均勻性
可說是決定製程良莠的首站關卡!
那到底什麼是 #光阻塗佈 呢?
就是將感光材料均勻塗佈在晶片表面
接著將欲轉印圖型光罩置於晶片上方
經過曝光顯影後
其設計圖形將轉印到晶片表面以利後續製程
而我們可以想像
就像是婆婆媽媽們去傳統市場買的春捲皮
光阻就是要像麵皮那麼薄、那麼均勻
才會有好的良率💯
工業局「✏#先進封裝設備計畫」
108年協助 #億力鑫系統 改善塗佈腔體機構
有效提升塗層均勻性從90% ➡ 提升至97%!
並依終端廠產線規格
完成機台運作相關資訊擷取操作測試
順利通過終端廠測試驗證
預期可新增設備產值1.27億元💰!
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