本集節目由「 ASML 」贊助播出。
解密全球最大半導體設備商 ASML EUV 極紫外光獨家創新技術,
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#BePartofProgress #Innovation
還記得去年夏天有個新聞是,
路上出現了幾台,價值 #台幣三十億 起跳的 #白色超長貨櫃車 嗎?
有人說,看到這個標誌的貨車最好閃遠一點,不然一不小心撞到,是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧!
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右,主流的「 #乾式曝光 」微影技術,就已經把光源的波長,從 436 奈米,逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短,把更精密的電路放到晶圓上,就會遇到「鏡片」在物理上的極限,這個 193 奈米的關卡,當時大家都認為很難突破。
📍 不過,當時台積電的研發副總經理 #林本堅 ,就與荷蘭的 #ASML 公司,共同研發出「 #浸潤式微影 」技術,把原先 193 奈米設備的鏡頭,浸到水裡。
📍 透過水的折射,巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果,成功突破了「 #乾式微影 」的極限,讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來,最關鍵的突破,就是縮寫是「 #EUV 」的「 #極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射,產生 134 奈米的微影效果,就已經是很了不起的技術成就了,那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢?現在就趕快點開下方影片,讓我們一起來看看吧!
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