石墨烯(Graphene)是具有獨特物理性、機械式和電氣性能SP2雜化碳原子的2維平面。石墨通常在其多層形式中被發現,其主要作為單隔離層,並應用於低功耗、高流動性、模擬和射頻元件上,同時也已被收錄在CMOS應用的主要文獻中。單層的石墨烯可從類似銅或鎳金屬表面之碳化矽表面上的石墨剝離中獲得,或也可從化學氣相沉積(CVD)的熱分解中獲得。其與矽基的CMOS相容情形需要從研究矽晶片上的石墨烯層來做評估。
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先進CMOS廠處理300 mm矽晶上石墨烯的最佳方案
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