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【應材史上最快的晶圓檢測攻略！】
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💿在晶圓製程中，良率高低是生產的重要指標，

而「量測與檢驗」是其中一項重要把關 ，

就像骨牌遊戲中的停損點一樣，

若能越快檢測出致命缺陷，即能及時停損，降低研發成本。

然而，製程愈趨精密，檢測成本隨之提高，

日益微小但致命的缺陷，是晶圓檢測上的一大難題，

如何在成本與精確度之間取得完美平衡，

成為晶圓檢測的重大挑戰。

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#突破瓶頸_應材發表以大數據及AI作為掌控製程新攻略

隨著大數據以及人工智慧的進步，

我們讓機器扮演產品檢測員的角色👨‍🏭

搭載新型 Enlight®、ExtractAI™、SEMVision® 技術系統，

就好比提升檢測員的觀察能力，以及加速大腦運作的速度，

使其能接收更多訊號，並且迅速分類，辨別缺陷。

而隨著數據的累積，就能以較少的檢測步驟，精準偵測缺陷，

甚至預判缺陷，予以迅速修正。

全面強化產線監控能力，拉高良率與生產速率☄

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▋ 突破技術說明
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• 新型 Enlight® 光學晶圓檢測系統：
結合突破性效能與嶄新光學元件，從每片晶圓中取得更多良率數據。

• ExtractAI™ 技術：
技術運用人工智慧，針對不利於良率的缺陷進行快速分類，並消除雜訊。

• SEMVision® 電子束複檢系統：
能相容於新的Enlight® 系統和 ExtractAI™技術，有效地自雜訊中辨別缺陷並將其分類。

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▋ 延伸閱讀 >> 晶圓檢測新攻略三部曲
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晶圓檢測面臨的瓶頸👉https://blog.appliedmaterials.com/new-playbook-finding-and-correcting-defects-advanced-chips

運用AI，克服挑戰👉https://blog.appliedmaterials.com/solving-big-problems-defect-detection-requires-big-data

應材製程新攻略👉https://blog.appliedmaterials.com/introducing-new-playbook-process-control

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#晶圓檢測
#AMT_Enlight
#AMT_ExtractAI
#AMT_SEMVision

應用材料公司在材料工程上獲得20年來重大技術突破，運用鈷金屬，能促進大數據與人工智慧 (AI) 時代晶片效能的提升。

在過去，傳統摩爾定律只要微縮一小部分易於整合的材料，同時就能改善晶片的效能、功率、面積、成本 (PPAC) 。
如今，一些如鎢與銅金屬的材料在10奈米以下的製程再無法順利微縮，因其電性在電晶體接點與局部中段金屬導線製程上已逼近物理極限，這就成為鰭式電晶體無法發揮完全效能的一大瓶頸。
而鈷金屬正可以消除這項瓶頸，不過也需要在製程系統的策略上進行變革。
隨著產業將結構微縮到極端尺寸，這些材料的表現會有所不同，並且必須在原子級上有系統地進行工程，通常是在真空條件下進行。

運用鈷做為新的導電材料，使用於電晶體接點與銅導線上，應用材料公司已結合許多的材料工程步驟－預先清洗、物理氣相沉積、原子層沉積以及化學氣相沉積－於 Endura® 平台上。
再者，應用材料公司也界定出一套整合性的鈷組合，包括 Producer® 平台上的退火，Reflexion® LK Prime CMP 平台上的平坦化，以及 PROVision™平台上的電子束檢測。
客戶能運用這項經驗證過的整合材料解決方案，在7奈米及以下的製程時，加速產品上市時間，同時增加晶片效能。應用材料公司的整合鈷組合產品目前銷往全球的晶圓代工與邏輯客戶。

https://origin-blog.appliedmaterials.com/enabling-ai-era-ne…

【科技界併購頭條新聞】荷商ASML以1000億收購漢微科

股后漢微科宣布與荷商艾司摩爾（ASML）簽約，ASML將以每股1410元收購漢微科100%股權，在台股歷史中，這筆高達1000億元的交易，僅次先前傳出美光併華亞科1300億元，震撼產業界。

併購理由：
漢微科是華人企業當中，唯一切入半導體前段高階設備的公司，ASML看好漢微科在電子束檢測技術，可以彌補ASML現有曝光技術不足。ASML在研發設計的核心技術、技術和供應鏈的管理，以及生產力及效率上，都值得學習，雙方合作後，將能無畏地迎向「萬物相連」的物聯網時代。未來漢微科將成為ASML在台灣子公司，負責製造與提供客戶服務。

據調研機構 Gartner 數據，全球前五大半導體設備廠已囊括市場近六成市佔，大廠間各擅勝場，且爭鬥明顯打得火熱，不只艾司摩爾，近三年來另外兩大半導體設備廠應材、科林都相繼大手筆發動併購。

漢微科小檔案
漢微科為小而美的半導體上游公司，以電子束檢測技術見長，為世界各大晶圓代工廠與晶圓記憶體廠最大的電子束檢測設備供應商，主要客戶是台積電及英特爾，資本額只有7億1000萬元，約有350名員工。

ASML（艾司摩爾）小檔案
ASML為全球晶片微影設備的市場領導者，研發先進的半導體微影技術，為半導體產業提供高科技微影設備，以及相關量測系統和軟體解決方案。業者形容是半導體廠技術升級的彈藥庫，過去曾獲得英特爾、台積電、三星半導體入股，產業重要性不言可喻。ASML在全球16個國家設有70個據點，總部位於荷蘭維荷芬，全球員工超過1萬5000人。

http://goo.gl/wsKPGv