案(pattern)光阻的基板蝕刻液去除未受光阻保護的基板部份,而受光阻保護部份,.半導體- 台灣港建高精度半自動貼片機- BL100. VIEW MORE. 高精度自動貼片機- CL1000. ... <看更多>
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ASML微影技術|推動半導體產業,提升人類智能生活✨】 ASML在半導體產業供應鏈中 ... 影設備,讓電路設計圖影像(Pattern)得以微縮刻在矽晶片上,協助半導體大廠製造 ... ... <看更多>
也有人稱為Loading effect) : 知道Pattern Density與u-trench/fence/facet的關係嗎? : Pattern Density 與EPD(End point detection)之間有何關係嗎? ... <看更多>
小弟不才,來這野人獻曝了loading effect分兩種,跟斯斯不一樣,分別是marco loading 與micro loading。 Marco loading effect發生在晶圓曝露面積不同 ... ... <看更多>