使用蘭摩爾探針與光放射光譜儀進行ECR-CVD 即時性非晶矽薄膜製程電漿診斷. 為了解決 ... 摩爾探針(Langmuir probe)診斷電子迴旋共振之電漿。研究中,除使用探針針對電子 ... ... <看更多>
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物聯網IoT #半導體製程#電漿感測片Plasma Indicator #3D封裝#放電偵測#無機色材#蘭摩爾探針Langmuir probe #陶瓷基板#發光二極體LED #微機電MEMS ... <看更多>
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