隨著摩爾定律的演進，半導體的製程線寬越做越窄，工研院、交通大學及國家奈米實驗室三方合作的「半導體 微波退火 」 技術 ，把微波爐的低頻微波應用在製程 ... ... <看更多>
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隨著摩爾定律的演進，半導體的製程線寬越做越窄，工研院、交通大學及國家奈米實驗室三方合作的「半導體 微波退火 」 技術 ，把微波爐的低頻微波應用在製程 ... ... <看更多>
工研院研發的「半導體 微波退火 」 技術 採用2.45GHz微波管，成本僅工業等級5.8GHz的1/10、平均使用壽命長6倍，且產出晶圓均勻性達99.5%，超越廠商99%的 ... ... <看更多>
【只要30秒， 技術 你就瞭】 精密的半導體製程不斷突破，工研院、交通大學、國家奈米實驗室攜手合作研發「半導體 微波退火 」，將家用微波爐使用的低頻 ... ... <看更多>
RTA 製程中source-drain的低參... 1.3 退火原理概... 1.4-5 金屬氧化半導體工作原理. 半導體多片晶圓微波退火技術開發- 機械 ... ... <看更多>
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