icp蝕刻原理 在 新泰真空科技有限公司- 1.反應離子刻蝕反應離子刻 ... - Facebook 的評價 PE模式原理 3. 電感耦合等離子體(ICP) 除了PE及RIE機台,array製程最常用到的還有ICP(Inductively Coupled Plasma )模式。 ICP的上電極是一個螺旋 ... ... <看更多>